低温回火不能细化钢的晶粒，工件淬火变形较大，合金钢渗碳件表面残余奥氏体量较多，表面硬度较低。操作简单，成本低廉用来处理对变形和承受冲击载荷不大的零件，适用于气体渗碳和液体渗碳工艺。

预冷直接淬火、低温回火，淬火温度800-850℃。可以减少工件淬火变形，渗层中残余奥氏体量也可稍有降低，表面硬度略有提高，但奥氏体晶粒没有变化。操作简单，工件氧化、脱碳及淬火变形均小，广泛应用于细晶粒钢制造的各种工具。

一次加热淬火，低温回火，淬火温度820-850℃或780-810℃。对心部强度要求较高者，采用820-850℃淬火，心部为低碳M，表面要求硬度高者，采用780-810℃淬火可以细化晶粒。适用于固体渗碳后的碳钢和低合金钢工件、气体、液体渗碳的粗晶粒钢，某些渗碳后不宜直接淬火的工件及渗碳后需机械加工的零件。

二次淬火低温回火主要改善渗层组织，对心部性能要求不高时可在材料的Ac1—Ac3之间淬火，对心部性能要求高时要在Ac3以上淬火。主要用于对力学性能要求很高的重要渗碳件，特别是对粗晶粒钢。但在渗碳后需经过两次高温加热，使工件变形和氧化脱碳增加，热处理过程较复杂。

二次淬火冷处理低温回火高于Ac1或Ac3的温度淬火，高合金表层残余较多，经冷处理促使转变从而提高表面硬度和耐磨性。主要用于渗碳后不进行机械加工的高合金钢工件。渗碳后感应加热淬火低温回火。可以细化渗层及靠近渗层处的组织。淬火变形小，不允许硬化的部位不需预先防渗。